STEM-EDS分析化合物半导体晶体管元素分布

自硅基半导体作为一个规模庞大的产业发展起来后，集成电路单位面积上晶体管的数量增加趋势始终遵循摩尔定律。 目前，硅基半导体中的关键尺寸（线宽或特征尺寸）已经降低到到10nm以下。相比于硅基半导体，化合...

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